RST高精度三軸對位機台
產品介紹
| RST高精度0.1um UVW三軸對位機台 |
|---|
| 產品/裝置概要(介紹) |
| RST三軸對位平台，可做到XYθ精密對位。高載重高精度，適合對象為晶圓層積，Micro Led巨量轉移/雷射修復等需要微小定位的需求。 |
| 特長(優點) |
| 透過獨特設計,定位精度達到0.1um,導入成本低 |
| 相關檔案 |
| RST高精度0.1um UVW三軸對位機台 |
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| 產品/裝置概要(介紹) |
| RST三軸對位平台，可做到XYθ精密對位。高載重高精度，適合對象為晶圓層積，Micro Led巨量轉移/雷射修復等需要微小定位的需求。 |
| 特長(優點) |
| 透過獨特設計,定位精度達到0.1um,導入成本低 |
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