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KOHZU STAGE
系統產品運用
| RST高精度0.1um UVW三軸對位機台 |
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| 產品/裝置概要(介紹) |
| RST(UVW) 三軸對位平台，可依據客戶需求更改開孔大小，適合晶圓層積,晶圓對位以及面板貼合等需要精密對位時使用。 |
| 特長(優點) |
| 透過獨特設計,定位精度達到0.1um,導入成本低 |
| 相關檔案 |
| DYVOCE |
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| 產品/裝置概要(介紹) |
| 高精度晶圓形狀測定系統 使用非接觸式感測器量測樣品的均勻度以及厚度 |
| 特長(優點) |
| 可做重力補正得出真實數值.有實驗用/量產機型可對應 |
| 相關檔案 |
手動
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| 手動X，XY軸調整STAGE | 手動Z軸調整平台 | 手動角度軸調整平台 | 手動旋轉軸調整平台 |
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| 高精度 | 高精度 | 高精度 | 高精度 |
真空
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| 真空X，XY軸調整平台 | 真空Z軸調整平台 | 真空θ軸調整平台 |
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| 高精度 | 高精度 | 高精度 |
自動
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| 自動X，XY軸調整平台 | 自動Z軸調整平台 | 自動角度軸調整平台 | 自動旋轉軸調整平台 |
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| 高精度 | 高精度 | 高精度 | 高精度 |
其他應用
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| 手動精密調心單元 | MPS | SMR | YRA-130 |
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| 高精度對芯用 | 最適合六軸調整 | 適合AA製程 | 超薄結構,XYΘ一體化,精度高 |
光學檢測儀器振動台
| TSS-1000 |
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| 產品/裝置概要(介紹) |
| 檢驗手機鏡頭&攝像模組實際拍攝了解光學角度補正功能是否正常. |
| 特長(優點) |
| PITCH,ROLL,YAW震動,另可自由波型模擬真實手震動 |
| TSS-M |
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| 產品/裝置概要(介紹) |
| 檢驗手機鏡頭&攝像模組實際拍攝了解光學角度補正功能是否正常. |
| 特長(優點) |
| PITCH,YAW震動,可模擬自由波型並符合CIPA測定標準 |